Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 1000068127 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 27 |
Heft | 4 |
Seiten | Art. Nr. 045020 |
Externe Relationen | Siehe auch |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |