| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5106-0513-8 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000068750 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Fourth Conference on Sensors, MEMS, and Electro-Optic Systems, Skukuza, ZA, September 18-20, 2016. Ed.: M. du Plessis |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | 100360J |
| Serie | Proceedings of SPIE ; 10036 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |