| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2190-4286 urn:nbn:de:swb:90-688514 KITopen-ID: 1000068851 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Beilstein journal of nanotechnology |
| Verlag | Beilstein-Institut |
| Band | 8 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 614-626 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus Web of Science |