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Maskless manufacturing of through glass vias (TGVS) and their test structures

Laakso, Miku J.; Liljeholm, Jessica; Fischer, Andreas C.; Stemme, Göran; Ebefors, Thorbjörn; Niklaus, Frank



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Biomedizinische Technik (IBT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/MEMSYS.2017.7863517
ISBN: 978-1-5090-5078-9
ISSN: 1084-6999
KITopen ID: 1000068929
Erschienen in 30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2017, Las Vegas, NV, January 22-26, 2017
Verlag IEEE, Piscataway, NJ
Seiten 753-756
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