Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Biomedizinische Technik (IBT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-5090-5078-9 ISSN: 1084-6999 KITopen-ID: 1000068929 |
Erschienen in | 30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2017, Las Vegas, NV, January 22-26, 2017 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 753-756 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |