Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2045-2322 urn:nbn:de:swb:90-690161 KITopen-ID: 1000069016 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Scientific reports |
Verlag | Nature Research |
Band | 7 |
Seiten | Art.-Nr.: 44581 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |