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The behaviour of arcs in carbon mixed-mode high-power impulse magnetron sputtering

Tucker, M. D.; Putman, K. J.; Ganesan, R.; Lattemann, M.; Stueber, Michael; Ulrich, Sven; Bilek, M. M. M.; McKenzie, D. R.; Marks, N. A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1088/1361-6463/aa5bcf
ISSN: 0022-3727, 0262-8171, 0508-3443, 1361-6463
KITopen ID: 1000069026
Erschienen in Journal of physics / D
Band 50
Heft 14
Seiten 145205
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