The behaviour of arcs in carbon mixed-mode high-power impulse magnetron sputtering
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0022-3727, 0262-8171, 0508-3443, 1361-6463 KITopen-ID: 1000069026 |
| HGF-Programm | 34.13.01 (POF III, LK 01) Material f.therm.,mechan.u.Umweltbelast. |
| Erschienen in | Journal of physics / D |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 50 |
| Heft | 14 |
| Seiten | 145205 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |