Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 1000069357 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | Microelectronic engineering |
Verlag | Elsevier |
Band | 173 |
Seiten | 58-61 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |