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Contrast of Backscattered Electron SEM Images of Nanoparticles on Substrates with Complex Structure

Kowoll, Thomas 1; Müller, Erich 1; Fritsch-Decker, Susanne 2; Hettler, Simon 1; Störmer, Heike 3; Weiss, Carsten 2; Gerthsen, Dagmar 1
1 Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Toxikologie und Genetik (ITG), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

Abstract:

This study is concerned with backscattered electron scanning electron microscopy (BSE SEM) contrast of complex nanoscaled samples which consist of SiO2 nanoparticles (NPs) deposited on indium-tin-oxide covered bulk SiO2 and glassy carbon substrates. BSE SEM contrast of NPs is studied as function of the primary electron energy and working distance. Contrast inversions are observed which prevent intuitive interpretation of NP contrast in terms of material contrast. Experimental data is quantitatively compared with Monte-Carlo- (MC-) simulations. Quantitative agreement between experimental data and MC-simulations is obtained if the transmission characteristics of the annular semiconductor detector are taken into account. MC-simulations facilitate the understanding of NP contrast inversions and are helpful to derive conditions for optimum material and topography contrast.


Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000069379
Veröffentlicht am 18.01.2018
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1155/2017/4907457
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Zitationen: 19
Web of Science
Zitationen: 12
Dimensions
Zitationen: 22
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Toxikologie und Genetik (ITG)
Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM)
Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0161-0457, 1932-8745
urn:nbn:de:swb:90-693797
KITopen-ID: 1000069379
HGF-Programm 47.01.01 (POF III, LK 01) Biol.Netzwerke u.Synth.Regulat. ITG+ITC
Erschienen in Scanning
Verlag Hindawi
Band 2017
Seiten Article ID 4907457
Bemerkung zur Veröffentlichung Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds
Vorab online veröffentlicht am 06.04.2017
Nachgewiesen in Scopus
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