Structural evolution in reactive RF magnetron sputtered (Cr,Zr)₂O₃ coatings during annealing

Landälv, L.; Lu, J.; Spitz, S.; Leiste, H.; Ulrich, S.; Johansson-Jõesaar, M. P.; Ahlgren, M.; Göthelid, E.; Alling, B.; Hultman, L.; Stüber, M.; Eklund, P.

doi:10.1016/j.actamat.2017.03.063

Structural evolution in reactive RF magnetron sputtered (Cr,Zr)₂O₃ coatings during annealing

Landälv, L.; Lu, J.; Spitz, S. ¹; Leiste, H. ¹; Ulrich, S. ¹; Johansson-Jõesaar, M. P.; Ahlgren, M.; Göthelid, E.; Alling, B.; Hultman, L.; Stüber, M. ¹; Eklund, P.
¹ Institut für Angewandte Materialien (IAM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

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DOI: 10.1016/j.actamat.2017.03.063

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2017
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 1359-6454, 1873-2453 KITopen-ID: 1000069464
HGF-Programm	34.13.01 (POF III, LK 01) Material f.therm.,mechan.u.Umweltbelast.
Erschienen in	Acta materialia
Verlag	Elsevier
Band	131
Seiten	543-552
Schlagwörter	2015-015-008812; 2015-015-008811 TFC TFT
Nachgewiesen in	Dimensions Scopus Web of Science

Repository KITopen

Structural evolution in reactive RF magnetron sputtered (Cr,Zr)₂O₃ coatings during annealing