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DOI: 10.5445/KSP/1000070029
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X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control

Koch, Frieder Johannes

Abstract (englisch):
Grating based X-ray phase contrast imaging sets out to overcome the limits of conventional X-ray imaging in the detection of subtle density differences and opens a way to characterize a sample’s microstructure without the need for ultrahigh spatial resolution. The technique relies on grating structures with micrometric periods and extreme aspect ratio – their fabrication by X-ray lithography with optimal structure quality is the topic of this work.

Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-7315-0679-9
ISSN: 1869-5183
URN: urn:nbn:de:0072-700294
KITopen ID: 1000070029
HGF-Programm 43.23.02; LK 01
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Umfang X, 138 S.
Serie Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 36
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdatum 06.04.2017
Referent/Betreuer Prof. J. Korvink
Schlagworte Röntgenoptik, LIGA, Phasenkontrast, Röntgengitter, Talbot-Effect, X-ray optics, LIGA, phase contrast, X-ray gratings, Talbot effect
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