Effects of hydrogen ion irradiation on zinc oxide etching
Li, H.; Karahashi, K.; Friederich, P.
1; Fink, K.
1; Fukasawa, M.; Hirata, A.; Nagahata, K.; Tatsumi, T.; Wenzel, W. 1; Hamaguchi, S.
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Fink, K.
1; Fukasawa, M.; Hirata, A.; Nagahata, K.; Tatsumi, T.; Wenzel, W. 1; Hamaguchi, S.1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-2101, 1520-8559 KITopen-ID: 1000070209 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / A |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 35 |
| Heft | 5 |
| Seiten | Art.Nr. 05C303 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |