KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Effects of hydrogen ion irradiation on zinc oxide etching

Li, H.; Karahashi, K.; Friederich, P.; Fink, K.; Fukasawa, M.; Hirata, A.; Nagahata, K.; Tatsumi, T.; Wenzel, W.; Hamaguchi, S.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.4982715
Scopus
Zitationen: 2
Web of Science
Zitationen: 5
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0734-2101, 1520-8559
KITopen-ID: 1000070209
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01)
Erschienen in Journal of vacuum science & technology / A
Band 35
Heft 5
Seiten Art.Nr. 05C303
Nachgewiesen in Web of Science
Scopus
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page