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Effects of hydrogen ion irradiation on zinc oxide etching

Li, H.; Karahashi, K.; Friederich, P.; Fink, K.; Fukasawa, M.; Hirata, A.; Nagahata, K.; Tatsumi, T.; Wenzel, W.; Hamaguchi, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1116/1.4982715
ISSN: 0734-2101, 1520-8559
KITopen ID: 1000070209
HGF-Programm 43.22.01; LK 01
Erschienen in Journal of vacuum science & technology / A
Band 35
Heft 5
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