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Effects of hydrogen ion irradiation on zinc oxide etching

Li, H.; Karahashi, K.; Friederich, P. ORCID iD icon 1; Fink, K. ORCID iD icon 1; Fukasawa, M.; Hirata, A.; Nagahata, K.; Tatsumi, T.; Wenzel, W. 1; Hamaguchi, S.
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.4982715
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Zitationen: 14
Web of Science
Zitationen: 17
Dimensions
Zitationen: 14
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0734-2101, 1520-8559
KITopen-ID: 1000070209
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erschienen in Journal of vacuum science & technology / A
Verlag American Vacuum Society
Band 35
Heft 5
Seiten Art.Nr. 05C303
Nachgewiesen in Dimensions
Web of Science
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Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung Ziel 7 – Bezahlbare und saubere Energie
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