Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0146-9592, 1539-4794 KITopen-ID: 1000070234 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Optics letters |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 42 |
Heft | 10 |
Seiten | 1998-2001 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |