| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1094-4087 urn:nbn:de:swb:90-702510 KITopen-ID: 1000070251 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Optics express |
| Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
| Band | 25 |
| Heft | 9 |
| Seiten | 9634-9646 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions OpenAlex |