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Fast and cheap fabrication of molding tools for polymer replication

Richter, Christiane; Kirschner, Nadine; Worgull, Matthias; Rapp, Bastian E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1117/12.2249831
ISBN: 978-1-5106-0563-3
ISSN: 1605-7422
KITopen ID: 1000070280
Erschienen in Microfluidics, BioMEMS, and Medical Microsystems XV, San Francisco, California, United States, January 28, 2017. Ed.: Bonnie L. Gray
Serie SPIE Proceedings ; 10061
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