Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Nanotechnologie (INT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-5106-0625-8 ISSN: 0277-786X urn:nbn:de:swb:90-703490 KITopen-ID: 1000070349 |
HGF-Programm | 37.01.02 (POF III, LK 01) Components and Cells |
Erschienen in | Laser-based Micro- and Nanoprocessing XI, San Francisco, CA, January 31 - February 2. Ed.: U. Klotzbach |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | Art.Nr.: 100920L |
Serie | SPIE Proceedings ; 10092 |
Projektinformation | FabSurfWAR (EU, H2020, 644971) |
Schlagwörter | 2015-013-006478 LMP |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |