| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Nanotechnologie (INT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5106-0625-8 ISSN: 0277-786X urn:nbn:de:swb:90-703490 KITopen-ID: 1000070349 |
| HGF-Programm | 37.01.02 (POF III, LK 01) Components and Cells |
| Erschienen in | Laser-based Micro- and Nanoprocessing XI, San Francisco, CA, January 31 - February 2. Ed.: U. Klotzbach |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | Art.Nr.: 100920L |
| Serie | SPIE Proceedings ; 10092 |
| Projektinformation | FabSurfWAR (EU, H2020, 644971) |
| Schlagwörter | 2015-013-006478 LMP |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |