How the Oxidation Stability of Metal Catalysts Defines the Metal-Assisted Chemical Etching of Silicon
Williams, Max O.; Hiller, Daniel; Bergfeldt, Thomas
1; Zacharias, Margit
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Zacharias, Margit1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1932-7447, 1932-7455 KITopen-ID: 1000070582 |
| HGF-Programm | 49.02.03 (POF III, LK 02) Bulk and Trace Analysis |
| Erschienen in | The journal of physical chemistry <Washington, DC> / C |
| Verlag | American Chemical Society (ACS) |
| Band | 121 |
| Heft | 17 |
| Seiten | 9296–9299 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |