Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2047-7538 urn:nbn:de:swb:90-709212 KITopen-ID: 1000070921 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Light |
Verlag | Springer Nature [academic journals on nature.com] |
Band | 6 |
Heft | 4 |
Seiten | Art. Nr.: e16245 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |