| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2047-7538 urn:nbn:de:swb:90-709212 KITopen-ID: 1000070921 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Light |
| Verlag | Springer Nature [academic journals on nature.com] |
| Band | 6 |
| Heft | 4 |
| Seiten | Art. Nr.: e16245 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Web of Science Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |