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CMOS-compatible ALD zinc Oxide coating for on-chip second-order nonlinear optical functionalities

Hermans, Artur; Daele, Michiel Van; Kieninger, Clemens; Dendooven, Jolien; Clemmen, Stéphane; Detavernier, Christophe; Koos, Christian; Baets, Roel



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1364/CLEO_SI.2017.SM3K.3
ISBN: 978-1-943580-27-9
KITopen ID: 1000071236
HGF-Programm 43.23.03; LK 01
Erschienen in CLEO : Science and Innovations 2017, San Jose, California, United States, 14-19 May 2017
Verlag OSA - The Optical Society, Washington (DC)
Seiten Art. Nr. SM3K.3
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