CMOS-compatible ALD zinc Oxide coating for on-chip second-order nonlinear optical functionalities
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-943580-27-9 KITopen-ID: 1000071236 |
| HGF-Programm | 43.23.03 (POF III, LK 01) Teratronics |
| Erschienen in | CLEO : Science and Innovations 2017, San Jose, California, United States, 14-19 May 2017 |
| Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
| Seiten | Art. Nr. SM3K.3 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |