Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-943580-27-9 KITopen-ID: 1000071239 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | CLEO: Applications and Technology 2017, San Jose, California, United States, 14-19 May 2017 |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Seiten | Art. Nr. JTh2A.105 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |