Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-5106-0681-4 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000071538 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Complex Light and Optical Forces XI 2017; San Francisco; United States; 31 January 2017 through 2 February 2017 |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | Art. Nr.: 101200G |
Serie | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering ; 10120 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |