| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5106-0681-4 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000071538 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Complex Light and Optical Forces XI 2017; San Francisco; United States; 31 January 2017 through 2 February 2017 |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | Art. Nr.: 101200G |
| Serie | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering ; 10120 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |