| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2330-4022 KITopen-ID: 1000071819 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | ACS photonics |
| Verlag | American Chemical Society (ACS) |
| Band | 4 |
| Heft | 6 |
| Seiten | 1477-1483 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions OpenAlex Scopus |