Quasi-metallic behavior of ZnO grown by atomic layer deposition : The role of hydrogen
Beh, Holger; Hiller, Daniel; Bruns, Michael 1; Welle, Alexander
2; Becker, Hans-Werner; Berghoff, Birger; Sürgers, Christoph
3; Merz, Rolf; Zacharias, Margit
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Physikalisches Institut (PHI), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2; Becker, Hans-Werner; Berghoff, Birger; Sürgers, Christoph
3; Merz, Rolf; Zacharias, Margit1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Physikalisches Institut (PHI), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Energiespeichersysteme (IAM-ESS) Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) Physikalisches Institut (PHI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550 KITopen-ID: 1000071871 |
| HGF-Programm | 49.02.06 (POF III, LK 02) ToF-SIMS |
| Erschienen in | Journal of applied physics |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 122 |
| Heft | 2 |
| Seiten | Art. Nr. 025306 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions OpenAlex |