Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1944-8244, 1944-8252 KITopen-ID: 1000072199 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | ACS applied materials & interfaces |
Verlag | American Chemical Society (ACS) |
Band | 9 |
Heft | 26 |
Seiten | 22037-22041 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |