| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0740-3224, 1520-8540 KITopen-ID: 1000072242 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Journal of the Optical Society of America / B |
| Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
| Band | 34 |
| Heft | 7 |
| Seiten | D46-D55 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Web of Science Scopus |