Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0740-3224, 1520-8540 KITopen-ID: 1000072242 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Journal of the Optical Society of America / B |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 34 |
Heft | 7 |
Seiten | D46-D55 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |