| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0018-926X, 0096-1973, 1558-2221, 1558-3643 KITopen-ID: 1000073036 |
| HGF-Programm | 49.01.04 (POF III, LK 02) Deep X-Ray Lithography |
| Erschienen in | IEEE transactions on antennas and propagation |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Band | 65 |
| Heft | 9 |
| Seiten | 4576-4584 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Dimensions Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |