Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0018-926X, 0096-1973, 1558-2221, 1558-3643 KITopen-ID: 1000073036 |
HGF-Programm | 49.01.04 (POF III, LK 02) Deep X-Ray Lithography |
Erschienen in | IEEE transactions on antennas and propagation |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Band | 65 |
Heft | 9 |
Seiten | 4576-4584 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |