| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1464-4258, 1741-3567, 2040-8978, 2040-8986 KITopen-ID: 1000073196 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Journal of optics |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 19 |
| Heft | 8 |
| Seiten | Art. Nr. 084005 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Dimensions Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |