Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1464-4258, 1741-3567, 2040-8978, 2040-8986 KITopen-ID: 1000073196 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Journal of optics |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 19 |
Heft | 8 |
Seiten | Art. Nr. 084005 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |
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