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Comparison of HMDS and HMDSO Precursors for PECVD Hydrophobic Si-C-H Coatings

Dubbe, Andreas



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 1000073248
HGF-Programm 34.12.01; LK 01
Erschienen in 15th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE) (abstracts), Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 12-16, 2016
Verlag European Joint Committee on Plasma and Ion Surface Engineering, Braunschweig
Seiten PO4043
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