Comparison of HMDS and HMDSO Precursors for PECVD Hydrophobic Si-C-H Coatings
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000073248 |
| HGF-Programm | 34.12.01 (POF III, LK 01) Multiphasen und thermische Prozesse |
| Erschienen in | 15th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE) (abstracts), Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 12-16, 2016 |
| Verlag | European Joint Committee on Plasma and Ion Surface Engineering |
| Seiten | PO4043 |