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An argon ion beam milling process for native AlOₓ layers enabling coherent superconducting contacts

Grünhaupt, Lukas 1; Lüpke, Uwe von 2; Gusenkova, Daria 1; Skacel, Sebastian T. 1; Maleeva, Nataliya 1; Schlör, Steffen 1; Bilmes, Alexander 1; Rotzinger, Hannes ORCID iD icon 1; Ustinov, Alexey V. 1; Weides, Martin 1; Pop, Ioan M. 1
1 Physikalisches Institut (PHI), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.4990491
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Zitationen: 17
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Zitationen: 17
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Zitationen: 20
Zugehörige Institution(en) am KIT Physikalisches Institut (PHI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0003-6951, 1077-3118
KITopen-ID: 1000073620
Erschienen in Applied physics letters
Verlag American Institute of Physics (AIP)
Band 111
Heft 7
Seiten Art. Nr. 072601
Nachgewiesen in Dimensions
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