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An argon ion beam milling process for native AlOₓ layers enabling coherent superconducting contacts

Grünhaupt, Lukas; Lüpke, Uwe von; Gusenkova, Daria; Skacel, Sebastian T.; Maleeva, Nataliya; Schlör, Steffen; Bilmes, Alexander; Rotzinger, Hannes; Ustinov, Alexey V.; Weides, Martin; Pop, Ioan M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Physikalisches Institut (PHI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1063/1.4990491
ISSN: 0003-6951, 1077-3118
KITopen ID: 1000073620
Erschienen in Applied physics letters
Band 111
Heft 7
Seiten Art. Nr. 072601
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