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The effect of annealing on mechanical properties and constitution of TiC:H and TiC/a-C:H thin films deposited by high power impulse magnetron sputtering [in press]

Poltorak, Christian; Schweiger, Steffen; Leiste, Harald; Mikulla, Christoph; Erbes, Kolja Philip; Rinke, Monika; Wantzen, Knut; Pavlides, Constantino; Burger, Wolfgang; Albers, Albert; Stüber, Michael; Ulrich, Sven



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 1000073719
Erschienen in 8th International Conference on Fundamentals and Industrial Applications of HIPIMS, Braunschweig, Germany, 13 - 14 June 2017
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