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Miniaturized compound refractive X-ray zoom lens

Kornemann, E. 1; Márkus, O. 1; Opolka, A. 1; Zhou, T.; Greving, I.; Storm, M.; Krywka, C.; Last, A. 1; Mohr, J. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

Abstract (englisch):

We introduce the concept of a miniaturized compound refractive X-ray zoom lens consisting of SU-8 lenses fabricated by deep X-ray lithography. The focal length can be varied by changing the number of lens elements placed in the beam. We use suitable actuators to move single lens elements reversibly out of the beam. The X-ray zoom lens can accept different X-ray energies while keeping a fixed working distance, or vary the focal distance for a fixed energy. The latter is useful in tuning the magnification factor in full field microscopy.

DOI: 10.1364/OE.25.022455
Zitationen: 10
Web of Science
Zitationen: 9
Zitationen: 13
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1094-4087
KITopen-ID: 1000073754
HGF-Programm 43.23.03 (POF III, LK 01) Teratronics
Erschienen in Optics express
Verlag Optica Publishing Group (OSA)
Band 25
Heft 19
Seiten 22455-22466
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