Enhancement of superconductivity in NbN nanowires by negative electron-beam lithography with positive resist
Charaev, I. 1; Silbernagel, T. 1; Bachowsky, B. 1; Kuzmin, A.
1; Doerner, S. 1; Ilin, K. 1; Semenov, A.; Roditchev, D.; Vodolazov, D. Y.; Siegel, M. 1
1 Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Doerner, S. 1; Ilin, K. 1; Semenov, A.; Roditchev, D.; Vodolazov, D. Y.; Siegel, M. 11 Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550 KITopen-ID: 1000073907 |
| Erschienen in | Journal of applied physics |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 122 |
| Heft | 8 |
| Seiten | Art. Nr.: 083901 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |