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Enhancement of superconductivity in NbN nanowires by negative electron-beam lithography with positive resist

Charaev, I.; Silbernagel, T.; Bachowsky, B.; Kuzmin, A.; Doerner, S.; Ilin, K.; Semenov, A.; Roditchev, D.; Vodolazov, D. Y.; Siegel, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550
KITopen ID: 1000073907
Erschienen in Journal of applied physics
Band 122
Heft 8
Seiten Art. Nr.: 083901
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