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Enhancement of superconductivity in NbN nanowires by negative electron-beam lithography with positive resist

Charaev, I. 1; Silbernagel, T. 1; Bachowsky, B. 1; Kuzmin, A. ORCID iD icon 1; Doerner, S. 1; Ilin, K. 1; Semenov, A.; Roditchev, D.; Vodolazov, D. Y.; Siegel, M. 1
1 Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.4986416
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Zitationen: 18
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550
KITopen-ID: 1000073907
Erschienen in Journal of applied physics
Verlag American Institute of Physics (AIP)
Band 122
Heft 8
Seiten Art. Nr.: 083901
Nachgewiesen in Dimensions
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