Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 1000074122 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 28 |
Heft | 2 |
Seiten | Art. Nr.: 025003 |
Vorab online veröffentlicht am | 20.06.2017 |
Externe Relationen | Siehe auch |
Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |