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Quantifying parameter uncertainties in optical scatterometry using Bayesian inversion

Hammerschmidt, Martin; Weiser, Martin; Garcia-Santiago, Xavier; Zschiedrich, Lin; Bodermann, Bernd; Burger, Sven



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-5106-1105-4
ISSN: 0277-786X
KITopen ID: 1000075443
Erschienen in Modeling Aspects in Optical Metrology VI 2017, Munich, Germany, 26th - 28th June 2017
Verlag SPIE, Bellingham (WA)
Seiten Art.Nr.: 1033004
Serie Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering ; 10330
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