Quantifying parameter uncertainties in optical scatterometry using Bayesian inversion
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5106-1105-4 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000075443 |
| Erschienen in | Modeling Aspects in Optical Metrology VI 2017, Munich, Germany, 26th - 28th June 2017 |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | Art.Nr.: 1033004 |
| Serie | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering ; 10330 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus |