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Atomsondentomografie - Ausgewählte Beispiele zur Messtechnik und Analytik auf der atomaren Skala

Boll, Torben; Heilmaier, Martin

Abstract:
Atomsondentomografie (englisch Atom probe tomography, APT) ermöglicht eine dreidimensionale, chemische Analyse mit nahezu atomarer Auflösung. Durch die technische Weiterentwicklung der letzten Jahre, insbesondere durch die Verwendung von Laserpulsen, ist es mittlerweile möglich neben metallischen auch nichtleitende Materialien zu untersuchen. Dafür wird ein starkes elektrisches Feld an eine spitzenförmige Probe mit einem Spitzenradius von etwa 100 nm angelegt. Ein zusätzlicher Spannungs- oder Laserpuls trägt diese Spitze Atom für Atom ab.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffkunde (IAM-WK)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2017
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 1000075855
HGF-Programm 49.02.08; LK 01
Erschienen in V2017 - Vakuumbeschichtung und Plasmaoberflächentechnik - Workshop: Oberflächenanalytik und Messtechnik, Dresden, 24.-26.10.2017
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