Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2365-709X KITopen-ID: 1000076136 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Advanced Materials Technologies |
Verlag | John Wiley and Sons |
Band | 2 |
Heft | 11 |
Seiten | Art.Nr. 1700212 |
Vorab online veröffentlicht am | 21.09.2017 |
Nachgewiesen in | Dimensions |