| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde (IAM-WK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-4491-6 KITopen-ID: 1000076482 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2017. MEMS, Mikroelektronik, Systeme, München, 23.-25.10.2017. Hrsg.: C. Kutter |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 496-499 |