Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde (IAM-WK) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-4491-6 KITopen-ID: 1000076484 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2017. MEMS, Mikroelektronik, Systeme, München, 23.-25.10.2017. Hrsg.: C. Kutter |
Verlag | VDE Verlag |
Seiten | 700-703 |