| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4665-0509-4 KITopen-ID: 1000077084 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Fundamentals of Picoscience. Hrsg.: K. Sattler |
| Verlag | CRC Press |
| Seiten | 287–302 |