Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2014 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4665-0509-4 KITopen-ID: 1000077084 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erschienen in | Fundamentals of Picoscience. Hrsg.: K. Sattler |
Verlag | CRC Press |
Seiten | 287–302 |