| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000077117 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Erschienen in | 12th International Conference on Nanoimprint & Nanoprint Technology - NNT 2013 - Barcelona, Spain, October 21-23, 2013 |