Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000077117 |
HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
Erschienen in | 12th International Conference on Nanoimprint & Nanoprint Technology - NNT 2013 - Barcelona, Spain, October 21-23, 2013 |