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Advances In Material Variety For Hot Embossing

Worgull, Matthias; Schneider, N.; Kolew, A.; Schneider, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000077117
HGF-Programm 43.13.02 (POF II, LK 01)
Erschienen in 12th International Conference on Nanoimprint & Nanoprint Technology - NNT 2013 - Barcelona, Spain, October 21-23, 2013
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