| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5108-1020-4 KITopen-ID: 1000077118 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Erschienen in | 8th International Conference on MicroManufacturing (ICOMM 2013) : Victoria, Canada, 25 - 28 March 2013 |
| Verlag | Curran |
| Seiten | 623-30 |
| Serie | 8 |