Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-5108-1020-4 KITopen-ID: 1000077118 |
HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
Erschienen in | 8th International Conference on MicroManufacturing (ICOMM 2013) : Victoria, Canada, 25 - 28 March 2013 |
Verlag | Curran |
Seiten | 623-30 |
Serie | 8 |