| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0036-8075, 1095-9203 KITopen-ID: 1000077383 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Science |
| Verlag | American Association for the Advancement of Science (AAAS) |
| Band | 358 |
| Heft | 6366 |
| Seiten | 1072-1074 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |