Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0036-8075, 1095-9203 KITopen-ID: 1000077383 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Science |
Verlag | American Association for the Advancement of Science (AAAS) |
Band | 358 |
Heft | 6366 |
Seiten | 1072-1074 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |