Correlated Three-Dimensional Imaging of Dislocations: Insights into the Onset of Thermal Slip in Semiconductor Wafers
Hänschke, D. 1,2; Danilewsky, A.; Helfen, L. 2; Hamann, E.
2; Baumbach, T. 1,2
1 Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2; Baumbach, T. 1,21 Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 11.2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0031-9007, 1079-7114, 1092-0145 KITopen-ID: 1000078083 |
| HGF-Programm | 56.03.20 (POF III, LK 01) Nanoscience a.Material f.Inform.Technol. |
| Erschienen in | Physical review letters |
| Verlag | American Physical Society (APS) |
| Band | 119 |
| Heft | 21 |
| Seiten | Art. Nr.: 215504 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |