| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Toxikologie und Genetik (ITG) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 11.2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0003-6935, 1539-4522, 1559-128X KITopen-ID: 1000078252 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Applied optics |
| Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
| Band | 56 |
| Heft | 32 |
| Seiten | 9000-9005 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Web of Science Dimensions |