Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2160-3308 urn:nbn:de:swb:90-784485 KITopen-ID: 1000078448 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical review / X |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 7 |
Heft | 4 |
Seiten | 041060 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |