Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1094-4087 urn:nbn:de:swb:90-786094 KITopen-ID: 1000078609 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Optics express |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 26 |
Heft | 2 |
Seiten | A111-A123 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |