Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 05.2007 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 1000078646 |
Erschienen in | Microelectronic engineering |
Verlag | Elsevier |
Band | 84 |
Heft | 5-8 |
Seiten | 1685-1689 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |