Micromachining of Novel SiC on Si Structures for Device and Sensor Applications
Förster, Christian; Cimalla, Volker; Stubenrauch, M.; Rockstuhl, Carsten
; Brückner, Klemens; Hein, Matthias A.; Pezoldt, Jörg; Ambacher, Oliver
; Brückner, Klemens; Hein, Matthias A.; Pezoldt, Jörg; Ambacher, Oliver| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0255-5476, 1662-9752 KITopen-ID: 1000078661 |
| Erschienen in | Materials science forum |
| Verlag | Trans Tech Publications |
| Band | 527-529 |
| Seiten | 1111-1114 |
| Nachgewiesen in | Dimensions |