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Originalveröffentlichung
DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.527-529.1111

Micromachining of Novel SiC on Si Structures for Device and Sensor Applications

Förster, Christian; Cimalla, Volker; Stubenrauch, M.; Rockstuhl, Carsten; Brückner, Klemens; Hein, Matthias A.; Pezoldt, Jörg; Ambacher, Oliver



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0255-5476, 1662-9752
KITopen ID: 1000078661
Erschienen in Materials science forum
Band 527-529
Seiten 1111-1114
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