Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsdatum | 30.01.2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-119-00971-9 KITopen-ID: 1000078978 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Photonics : Scientific Foundations, Technology and Applications, Volume 1. Ed.: D. Andrews |
Verlag | John Wiley and Sons |
Seiten | 341-362 |
Serie | A Wiley-Science Wise Co-Publication |
Vorab online veröffentlicht am | 16.01.2015 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |