| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsdatum | 30.01.2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-119-00971-9 KITopen-ID: 1000078978 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Photonics : Scientific Foundations, Technology and Applications, Volume 1. Ed.: D. Andrews |
| Verlag | John Wiley and Sons |
| Seiten | 341-362 |
| Serie | A Wiley-Science Wise Co-Publication |
| Vorab online veröffentlicht am | 16.01.2015 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions OpenAlex |