Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2469-9926, 2469-9934 KITopen-ID: 1000079242 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical review / A |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 97 |
Heft | 1 |
Seiten | Art.Nr. 013809 |
Vorab online veröffentlicht am | 05.01.2018 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |