KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Amorphous hydrogenated silicon carbonitride as low refractive index material in optical MEMS applications

Huber, Christian; Stein, Benedikt; Huber, Christian; Kalt, Heinz



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-55752-820-9
ISSN: 2162-2701
KITopen ID: 1000079294
Erschienen in Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO_Europe 2017, Munich, Germany, 25th - 29th June 2017
Verlag OSA - The Optical Society, Washington
Serie Optics InfoBase Conference Papers ; F82-CLEO_Europe 2017
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page