Amorphous hydrogenated silicon carbonitride as low refractive index material in optical MEMS applications
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-55752-820-9 ISSN: 2162-2701 KITopen-ID: 1000079294 |
| Erschienen in | Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO_Europe 2017, Munich, Germany, 25th - 29th June 2017 |
| Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
| Serie | Optics InfoBase Conference Papers ; F82-CLEO_Europe 2017 |
| Nachgewiesen in | Scopus |