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Amorphous hydrogenated silicon carbonitride as low refractive index material in optical MEMS applications

Huber, Christian 1; Stein, Benedikt; Huber, Christian; Kalt, Heinz 1
1 Institut für Angewandte Physik (APH), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-55752-820-9
ISSN: 2162-2701
KITopen-ID: 1000079294
Erschienen in Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO_Europe 2017, Munich, Germany, 25th - 29th June 2017
Verlag Optica Publishing Group (OSA)
Serie Optics InfoBase Conference Papers ; F82-CLEO_Europe 2017
Nachgewiesen in Scopus
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